多刃式切片机

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多刃式切片机

捷斯奥新设计发展钻石线专用切割机,运用独特技术并搭配钻石线的特性,可以改善切割完工质量、比传统机台缩短一半的切割加工时间,增加产能。

应用

适用各式材料,如 蓝宝石(Sapphire)晶棒、硅晶棒(单晶/多晶)、玻璃精密陶瓷、石英、水晶、人造宝石晶体… 等材料。

规格

项目(型号) UF-700
工件尺寸 Max. 176 (H) X 176 (W) X 300 (D)
线材运行速度 Max. 1800 m/min
导线 Ø220 mm
导线数量 Single Wire
摇摆度 ± 3
Z Table stroke 200 mm
Z In feed rate 0.01 ~ 150 mm/min
线径 Ø 0.15 ~ 0.42 mm
线张力 Max. 60 N or less
体机容量 200 L
安装尺寸 W3000 X D1900 X H2200 mm
机器重量 9.0 tons

特色

    • T-8331A 适用最大直径为 φ6-inch 及 300mm 长度的晶棒
    • 两倍产能(4-inch 只需六小时,是传统钻石切割的一半时间)
    • 高加工精密度(4-inch 蓝宝石 TTV < 10μm and Bow <10μm)
    • 低的加工成本(Running cost)及低的钻石线消耗(4-inch 蓝宝石只需 15m/wafer)
    • 摇摆圆柱机构结合导轮(Wire Guides)使切割硬脆材更有效益
    • 设备优异的刚性结构,让摇摆圆柱结构更加稳固
    • 自由转体线材管理系统使线材高速运转时,可以维持相对的扭力、偏斜拉扯、张力平衡,让钻石线得以充分发挥最佳的特性
    • 高速及精确的加工可靠度,可以在高负荷张力下确保高线速度 1,200 m/min 及高速往复 1.5 sec 加速度/减速度切割运动
    • 可针对不同的特性来设定不同的工作条件、线速度、摇摆速度、摇摆角度… 等,每个切割条件位置已被整合
    • 人机接口系统沟通顺畅,操作维修简单,耗材寿命长、易更换、取得容易