MPCVD
WEC-MP6000d是最先進的CVD系統 能生產高質量的CVD鑽石供各產業使用 MPCVD （Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition）微波等離子化學氣相沉澱法是指高純度氫氣在強大的微波作用下產生高能量的等離子火球，高純度甲烷氣體在等離子作用下變成游離的碳原子和氫原子，這些游離的碳原子在強大能量的等離子作用下會逐步按立體排列的方式沉積到底部的鑽石種子上，使鑽石種子逐步長厚形成與「天然鑽石結構&成分」完全一樣的CVD人工鑽石。
技術特點
應用
• 寶石級實驗室鑽石 • 光學元件 • 修整工具 • 切割工具 • 散熱器 • 電化學電極 • 電力設備 • 電氣元件 • 電子發射裝置 • 傳感器，MEMS等
規格
| Microwave Power | 6kW / 2.45GHz |
| Reactor Chamber Material | Stainless Steel |
| Stage Type | Water-cooling |
| Standard Substrate Holder | 50mm (Φ2inch) |
| tandard Gas Channel (up to 6 channels) | 3 channels (H2/CH4/N2) |
| Operating Pressure Range | 10~200 torr |
| Vacuum Leak Integrity (by He leak delector) | < 1x10-9 mbar. l/sec |
| Stage moving | Z-axis |
| Vacuum Pump Type (Standard) | Rotary Vacuum Pump [18/22 m3/h (50/60Hz)] |
| System Dimension (approx.) | W1450xD840xH1950mm |
| System Weight (approx.) | 350kg |
高純度級/電級鑽石
• 雷射切割（取芯/切片）解決方案 • CVD鑽石的顏色識別解決方案 • 色彩增強解決方案 • 拋光鑽石解決方案
• 更快長晶速度 - 比傳統方法快10-100倍，有益單晶CVD工業化。 • 更多產能產出 - 單批次更多產能、更大長晶反應腔體。 • 更高品質性能 - 比天然鑽石硬度更高、韌性更強。 • 更多樣化色彩 - 白色、黃色、粉紅色、藍色…等彩鑽。 • 更高鑽石純度 - 比天然鑽石Type-II 更純，適用光電、半導體…等應用。 • 多樣式客製化 - 可依市場不同需求(個人、文化、宗教…)客製化。